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BPE-400 4" Probe Station探针台 (产品编号:BPE-400)3
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BPE-400 4" Probe Station探针台 (产品编号:BPE-400)

specification:
1.4" wafer stainless vacuum chuck
2.chuck x-y stage
行程
101.6mmx101.6mm ring
3.Chuck theta rotation 0°
360° manual微调
4.Platen U
型固定不动

5.chuck x-y stage
最小移动距离2 um
6.chuck
面积4"卡盘平整度
:5 um
7.Box
底座尺寸(450mmx320mmx50mm
)

194557