BPE-600 6" Probe Station探針台 (產品編號:BPE-600)

specification:
1.6" Wafer stainless Vacuum chuck
2.Chuck x-y stage行程101.6mmx101.6mm ring(4"x4")
3.Chuck theta rotation 0°～360° manual微調
4.Platen U型固定不動
5.Chuck x-y stage最小移動距離2um
6.Chuck 面積6"卡盤平整度:5um
7.Box底座尺寸(450mm長x320mm寬x50mm高)