BPN-600 Probe Station探針台 (產品編號:BPN-600)

Specification:
1.6" Wafer stainless vacuum chuck
2.Chuck x-y Stage行程101.6mm x101.6mm
3.Chuck theta rotation 0°～360° manual微調
4.Platen U型固定不動
5.Chuck x-y stage最小移動距離≦ ５um
6.Chuck 面積6"卡盤平整度≦ 5um
7.Box底座尺寸(450mm長x320mm寬x50mm高)