BPT-200 Probe Station探针台 (产品编号:BPT-200)
BPT-200 Probe Station探针台 (产品编号:BPT-200)
Specification:
1.4" Wafer stainless vacuum chuck
2.Chuck x-y stage行程50.8mm x50.8mm
3.Chuck theta rotation 0°～360° manual微调
4.Platen U型固定不动
5.Chuck x-y stage 最小移动距离≤ ５um
6.Chuck 面积4" 卡盘平整度≤ 5um
7.Box底座尺寸(450mm长x320mm宽x50mm高)