BPT-200 Probe Station探針台 (產品編號:BPT-200)
BPT-200 Probe Station探針台 (產品編號:BPT-200)
Specification:
1.4" Wafer stainless vacuum chuck
2.Chuck x-y stage行程50.8mm x50.8mm
3.Chuck theta rotation 0°～360° manual微調
4.Platen U型固定不動
5.Chuck x-y stage 最小移動距離≦ ５um
6.Chuck 面積4" 卡盤平整度≦ 5um
7.Box底座尺寸(450mm長x320mm寬x50mm高)