100寸 LCD Probe Station
■Specification
■Feature
Microscope Mitutoyo(光学系统)
Laser System(雷射修补系统)
| Dimension: 2800mm宽x2500mm深x1700mm高 |
| Weight: 4500 Kg |
| Power: 220V 60Hz 三相 |
| Air Require:5.5 Kpa |
| Microscope Linear Z Pneumatic: 0~100 mm |
| Vibration Isolator x4(采用主动式防震系统) |
| 背光分成4区控制,照度> 5000 Lux |
| X轴线码控制 |
| 量测精度:(X轴Y轴)4+L/10) μm |
| X--Y-Z轴解析+- 1 μm |
| X--Y-Z轴重复定位精度+- 10μm |
| 机台采用花岗岩座机底,Base厚度达20cm,总重达4.5顿;为一非常稳固Stable之设计 |
| 针座 Stage在移动轴,设有一Lock钮，当User做长时间量测时，可lock住stage，以防止非相关人员误动作 |
| MicroScope采用高解析度(日本原装Mitutoyo) 及超长工作距离之显微镜，而Scope Mount采用龙门架桥方式设计， |
| 方便User Switching Objective;背光分成4区控制,照度> 5000 Lux |
| Eyepiece 10X |
| M Plan Apo Objective 5X |
| M Plan Apo Objective 10X |
| NIR20X |
| NUV50X |
| Total Magnification:500 x |
| Pupil distance:adjustment range 51-76mm |
| Platen x2 Leftx1 Rightx1 |
| 型号:NewWave EzLaze3 |
| YAG Laser cutting System |
| Laser 波长 (1064/532/355 nm) |
| Pulse Width:0.6mJ |