100吋 LCD Probe Station
■Specification
■Feature
Microscope Mitutoyo(光學系統)
Laser System(雷射修補系統)
| Dimension: 2800mm寬x2500mm深x1700mm高 |
| Weight: 4500 Kg |
| Power: 220V 60Hz 三相 |
| Air Require:5.5 Kpa |
| Microscope Linear Z Pneumatic: 0~100 mm |
| Vibration Isolator x4(採用主動式防震系統) |
| 背光分成4區控制,照度> 5000 Lux |
| X軸線碼控制 |
| 量測精度:(X軸Y軸)4+L/10) μm |
| X--Y-Z軸解析+- 1 μm |
| X--Y-Z軸重複定位精度+- 10μm |
| 機台採用花崗岩座機底,Base厚度達20cm,總重達4.5頓;為一非常穩固Stable之設計 |
| 針座 Stage在移動軸,設有一Lock鈕，當User做長時間量測時，可lock住stage，以防止非相關人員誤動作 |
| MicroScope採用高解析度(日本原裝Mitutoyo) 及超長工作距離之顯微鏡，而Scope Mount採用龍門架橋方式設計， |
| 方便User Switching Objective;背光分成4區控制,照度> 5000 Lux |
| Eyepiece 10X |
| M Plan Apo Objective 5X |
| M Plan Apo Objective 10X |
| NIR20X |
| NUV50X |
| Total Magnification:500 x |
| Pupil distance:adjustment range 51-76mm |
| Platen x2 Leftx1 Rightx1 |
| 型號:NewWave EzLaze3 |
| YAG Laser cutting System |
| Laser 波長 (1064/532/355 nm) |
| Pulse Width:0.6mJ |