產品
100吋 LCD Probe Station
電洽
■Specification
Dimension: 2800mm寬x2500mm深x1700mm高 |
Weight: 4500 Kg |
Power: 220V 60Hz 三相 |
Air Require:5.5 Kpa |
Microscope Linear Z Pneumatic: 0~100 mm |
Vibration Isolator x4(採用主動式防震系統) |
背光分成4區控制,照度> 5000 Lux |
X軸線碼控制 |
量測精度:(X軸Y軸)4+L/10) μm |
X--Y-Z軸解析+- 1 μm |
X--Y-Z軸重複定位精度+- 10μm |
■Feature
機台採用花崗岩座機底,Base厚度達20cm,總重達4.5頓;為一非常穩固Stable之設計 |
針座 Stage在移動軸,設有一Lock鈕,當User做長時間量測時,可lock住stage,以防止非相關人員誤動作 |
MicroScope採用高解析度(日本原裝Mitutoyo) 及超長工作距離之顯微鏡,而Scope Mount採用龍門架橋方式設計, |
方便User Switching Objective;背光分成4區控制,照度> 5000 Lux |
Microscope Mitutoyo(光學系統)
Eyepiece 10X |
M Plan Apo Objective 5X |
M Plan Apo Objective 10X |
NIR20X |
NUV50X |
Total Magnification:500 x |
Pupil distance:adjustment range 51-76mm |
Platen x2 Leftx1 Rightx1 |
Laser System(雷射修補系統)
型號:NewWave EzLaze3 |
YAG Laser cutting System |
Laser 波長 (1064/532/355 nm) |
Pulse Width:0.6mJ |